Свободные колебания микромеханических акселерометров (2003 г.)

	Определение рабочих диапазонов датчиков Отрасли промышленности: Приборостроение Мехатроника, робототехника, микроэлектромеханические приборы Авиастроение
Ключевые слова	Микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, собственные частоты и формы колебаний
Программное обеспечение	ANSYS
Период проведения	2003 г.

Первая и вторая собственные формы колебаний микроакселерометра, предназначенного для измерения ускорений в плоскости чувствительного элемента

 

Первая и вторая собственные формы колебаний микроакселерометра, предназначенного для измерения ускорений в направлении, перпендикулярном плоскости чувствительного элемента