Свободные колебания микромеханических акселерометров (2003 г.)
 |
Определение рабочих диапазонов датчиков
Отрасли промышленности:
|
| Ключевые слова | Микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, собственные частоты и формы колебаний |
| Программное обеспечение | ANSYS |
| Период проведения | 2003 г. |
  Первая и вторая собственные формы колебаний микроакселерометра, предназначенного для измерения ускорений в плоскости чувствительного элемента |
  Первая и вторая собственные формы колебаний микроакселерометра, предназначенного для измерения ускорений в направлении, перпендикулярном плоскости чувствительного элемента |